激光干涉測量儀可對機床進行校準(zhǔn)、檢測機器人的重復(fù)定位精度......并提供數(shù)據(jù)補償依據(jù)，是高品質(zhì)測量儀器產(chǎn)品。

中圖儀器測量重復(fù)定位精度的配置主要由SJ6000主機、EC20環(huán)境補償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量。

SJ6000激光干涉測量儀的靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補償表，該表涵蓋了各個測量點的補償值，運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差，精確的補償，可以降低運動軸的位置誤差。

線性測量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標(biāo)采集和基于時間的目標(biāo)采集兩種方式，普遍采用基于位置的目標(biāo)采集方式，即：被測運動軸需設(shè)定若干個等距的定位點，當(dāng)運動軸移動到設(shè)定的定位點時，需設(shè)置停留時間，以供SJ6000測量軟件進行當(dāng)前點的數(shù)據(jù)采集。

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號：SJ6000

產(chǎn)品名稱：SJ6000激光干涉儀

穩(wěn)頻方式：激光熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測量分辨力：1nm

動態(tài)采集頻率：50KHz

預(yù)熱時間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%

主要特點：應(yīng)用范圍廣、測量精度高、操作方便

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

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SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體，可實現(xiàn)高精度、長期穩(wěn)定的激光頻率輸出，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，與不同光學(xué)附件結(jié)合，可以測量距離、直線度、垂直度平行度、平面度。由于儀器為模塊化結(jié)構(gòu)，安裝位置靈活，便于分析機床誤差來源；而且測量時可以在工作部件運動過程中自動采集數(shù)據(jù)，更接近機床的實際使用狀態(tài)。