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SuperViewW中圖精密白光干涉儀基于白光干涉技術原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器VT6000材料表征3d共聚焦形貌顯微鏡基于光學共軛共焦原理，結合精密縱向掃描，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，可以獲取反映器件表面質量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

NS系列微納樣品接觸式微觀表面臺階測量儀對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求，廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業(yè)領域內的工業(yè)企業(yè)與高校院所等科研單位，其對表面微觀形貌參數(shù)的準確表征，對于相關材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。

SuperViewW高分辨率3d白光干涉儀能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)?？梢詮V泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

在材料生產(chǎn)檢測領域中，納米材料表征共聚焦顯微鏡用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。它基于光學共軛共焦原理，結合精密縱向掃描，以在樣品表面進行快速點掃描并逐層獲取不同高度處清晰焦點并重建出3D真彩圖像。

SuperViewW1白光干涉技術3D測量輪廓儀是以白光干涉技術為原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能.